Программа курса лекций I. Физические основы плазменных технологий Элементарные процессы в газоразрядной плазме и на поверхности электродов Термо-, aвто- и взрывная эмиссия. Вторичная эмиссия icon

Программа курса лекций I. Физические основы плазменных технологий Элементарные процессы в газоразрядной плазме и на поверхности электродов Термо-, aвто- и взрывная эмиссия. Вторичная эмиссия



Смотрите также:
Р. У. Вудом. В 1929 Р. Э. Милликен и Ч. К. Лоритсен установили линейную зависимость...
Программа VI международной конференции студентов и молодых ученых «Перспективы развития...
Программа VII международной конференции студентов и молодых ученых «Перспективы развития...
План-конспект урока Тема урока: Электрический ток в вакууме. Термоэлектронная эмиссия...
Программа
Тема: акция как финансовый...
На права X рукописи андерсон майкл Гордон формирование и транспортировка сильноточных импульсных...
Газодинамические явления в газоразрядной плазме и средах с рэлеевским механизмом энерговыделения...
Руководство участнику по заключению сдэм в Торговой системе...
Рабочая программа дисциплины физические процессы нефтегазового производства...
Магнитоакустическая эмиссия магнетитовых и титаномагнетитовых руд железорудных месторождений...
Программа повышения квалификации научно-педагогических работников по приоритетному направлению...



скачать

ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ


(магистратура, 1-2 курс, 2 или 4 семестр, 48 часов, экзамен)

Профессор Юрий Иванович Бельченко

Программа курса лекций

I. Физические основы плазменных технологий

Элементарные процессы в газоразрядной плазме

и на поверхности электродов

Термо-, aвто- и взрывная эмиссия. Вторичная эмиссия.

Возбуждение, диссоциация, ионизация, рекомбинация.

Дрейф и диффузия.

Адсорбция и десорбция. Внедрение и отражение. Распыление.

Поверхностная ионизация.

^ II. Методы и оборудование плазменных технологий

Газоразрядные системы

Тлеющий разряд.

Разряды в магнитном поле (PIG, магнетрон).

Вакуумные дуги. Дуга с горячим катодом.

Дуга высокого давления.

ВЧ и СВЧ разряды

Газоразрядные устройства

Плазменные реакторы.

Электродуговые, ВЧ и СВЧ плазмотроны.

Плазменные пушки и плазменные ускорители.

Термоэмиссионные преобразователи.

Получение потоков плазмы и формирование пучков заряженных частиц

Ионные источники

Вакуумно-плазменные технологии

Модификация поверхности. Низкоэнергетичная имплантация

Нанесение покрытий и пленок.

Обработка пластин в микроэлектронике (напыление, травление).

Высокотемпературные технологии

Обработка материалов. Электрометаллургия. Плазмохимия.

Диагностика поверхности.

Электронная микроскопия. Оже-спектроскопия.

Растровый и туннельный микроскоп.

Ионная микроскопия, ВИМС

Литература


  1. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии.М., Мир, 1985

  2. Ивановский Г.Ф, Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. М., Радио и связь, 1986 г.

  3. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств : справочник. М. Радио и связь.1991

  4. Данилин Б.С., Киреев В.Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М., Энергоатомиздат, 1987 г.

  5. Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М., Энергоатомиздат, 1989 г.

  6. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии. М., Высшая школа, 1984

  7. Пархоменко В.Д. и др. Технология плазмохимических производств. Киев, Выща школа, 1991 г.

  8. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.,Наука., 1987, 1992 г.

  9. Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. М. Атомиздат, 1979, 264 с.

  10. Кудинов В.В., Иванов В.М. Нанесение плазмой тугоплавких покрытий. М.Машиностроение,1981 г.

  11. Кудинов В.В. Плазменные покрытия. М. Наука, 1977 г., 184 с.

  12. Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы. М., Металлургия, 1990 г.

  13. Дресвин С.В., Бобров А.А. и др. “ВЧ- и СВЧ- плазмотроны”. Новосибирск, Наука, 1992 Серия “Низкотемпературная плазма”. Том 6.

  14. Крапивина С.А. Плазмохимические технологические процессы. Л., Химия, 1981 г.

  15. Серия “Низкотемпературная плазма”. Том 3. Химия плазмы./ Полак Л.С., Синярев Г.Б. и др., Новосибирск, Наука, 1991 г.

  16. Физика и технология источников ионов. Под ред. Я.Брауна, М., Мир, 1998 г.

  17. Габович М.Д., Семашко Н.Н., Плешивцев Н.В. “Пучки ионов и атомов для УТС и технологических целей”. М., Энергоатомиздат,1986

  18. Форрестер А.Т. Интенсивные ионные пучки. М, Мир, 1992 г.

  19. Черепин В.Т., Васильев М.А. Методы и приборы для анализа поверхности материалов (справочник). Киев, Наукова думка,1982

  20. Петров Н.Н. и Аброян И.А. Диагностика поверхности с помощью ионных пучков. Л., Изд-во Ленингр. ун-та, 1977 г.

  21. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. М., Мир, 1989 г.

  22. Зенгуил Э. Физика поверхности. М., Мир,1990

Дополнительная литература


Книги на английском языке

  1. Roth J.R. ”Industrial plasma engineeering”. IOP Publishing Ltd, Bristol and Filadelfia, 1995 г.

  2. Liberman M., Lichtenberg A. “Principles of plasma discharges and material processing”. NY, Wiley, 1994 г

  3. Konuma M. “Film deposition by plasma techniques”. Springer-Verlag, Berlin, 1992


Обзоры

  1. F.Chen. Industrial application of low temperature plasma physics Phys. Plasmas, v.2, n.6, стр.2164 , 1995 г.

  2. N.Sakudo. Ion sources for ion implantation and ion beam modification of materials. Rew.Sci.Instruments, 65(4), стр.1284, 1994 г.

  3. G.Alton. Ion sources for accelerators in material research.

  4. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, B73, стр.221-288, 1993 г.

  5. A.Grotjohn. Ion sources for microfabrication. Rew.Sci.Instruments, 65(4), стр.1298, 1994 г.

  6. Grigoryan V.G. Ion Sources for space thrusters. Rew.Sci.Instrum., 67(3), стр.1126, 1996 г.

  7. Kaufman A.H. Broad-beam ion sources. Rew.Sci.Instrum., 61 (II), p.230-236, 1990 г.




Скачать 29,48 Kb.
оставить комментарий
Дата27.09.2011
Размер29,48 Kb.
ТипПрограмма курса, Образовательные материалы
Добавить документ в свой блог или на сайт

Ваша оценка этого документа будет первой.
Ваша оценка:
Разместите кнопку на своём сайте или блоге:
rudocs.exdat.com

Загрузка...
База данных защищена авторским правом ©exdat 2000-2017
При копировании материала укажите ссылку
обратиться к администрации
Анализ
Справочники
Сценарии
Рефераты
Курсовые работы
Авторефераты
Программы
Методички
Документы
Понятия

опубликовать
Документы

наверх