Рабочая программа для направления 010700 «Физика», магистерская программа 010705 «Физика плазмы»

Зав. кафедрой ВЭПТ, профессор _______________________В.П. Кривобоков

• 
  лекции, нацеленные на получение необходимой информации и на ее использование при решении практических задач;
  
• 
  практические занятия, направленные на активизацию познавательной деятельности студентов и приобретение ими навыков решения практических проблемных задач;
  
• 
  выполнение индивидуальных заданий, предусматривающее развитие навыков работы с оригинальной научной литературой, систематизацию и анализ получаемых знаний, освоение практики решения конкретных задач;
  
• 
  консультации;
  
• 
  прочая самостоятельная внеаудиторная работа, направленье на закрепление получаемых теоретических знаний, приобретение навыков самостоятельного освоения нового материала и решения конкретных задач.
  

2. 
   Электродуговые плазмотроны (4 часа)
   

1. 
   Выступление с докладом по темам подготовленных рефератов (2 часа)
   

2. 
   Виды плазменного оборудования (6 часов)
   
3. 
   Области технологического применения оборудования (2 часа)
   
4. 
   Коллоквиум. (2 часа)
   
5. 
   Ознакомление с составными частями плазменного оборудования (на примере «Яшма - 2»). ТБ при работе на установках. (4 часа)
   
6. 
   Защита индивидуального задания (2 часа)
   

1. 
   Высокочастотный газовый разряд.
   
2. 
   Пенинговский разряд.
   
3. 
   Ионный источник с полым катодом.
   
4. 
   Ионный источник с холловским дрейфом электронов.
   
5. 
   Электродуговые испарители.
   
6. 
   Газовый имплантер.
   

1. 
   А. М. Ховатсон. Введение в теорию газового разряда. – М.: Атомиздат, 1980. – 180 с.
   
2. 
   М.Д. Габович. Физика и техника плазменных источников ионов. – М.: Атомиздат, 1972. – 304 с.
   
3. 
   В.В. Симонов, Л.А. Корнилов, А.В. Шашелев, Е.В. Шокин. Оборудование ионной имплантации. – М.: Радиосвязь, 1988. – 184 с.
   
4. 
   А. С. Коротеев. Электродуговые плазмотроны. – М.: Машиностроение, 1980. – 175с.
   
5. 
   Б.С. Данилин, В. К. Сырчин. Магнетронные распылительные системы. – М.: Радио и связь, 1982. – 73с.
   
6. 
   С.В. Дресвин. Основы теории и расчета высокочастотных плазмотронов. – Л.: Энергоатомиздат, 1991. – 312с.
   
7. 
   Ю.Е. Крейндель. Плазменные источники электронов. – М.: Атомиздат, 1977. – 144с.
   

1. 
   Физика и технология источников ионов / Под редакцией Я. Брауна. – М.: Мир, 1998. – 495 с.
   
2. 
   З.Ю. Готра. Технология микроэлектронных устройств: справочник. – М.: Радио и связь, 1991.
   
3. 
   И.А. Аброян, А.Н. Андронов, А.И. Титов. Физические основы электронной и ионной технологии. – М.: Высшая школа, 1984. – 320с.